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非接觸式高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量,可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌,激光光斑達微米量級,并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態(頻率、速度、加速度、位移)等多維信息。
高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量,可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌,激光光斑達微米量級,并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態(頻率、速度、加速度、位移)等多維信息。
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